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TS2000-DP Probe System

2019-02-20 admin


MPI 8寸高功率解决方案

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MPI TS2000-DP-DarkBox高功率解决方案

 凭借TS2000-DP,MPI提供了一个多功能且经济实惠的探针台,用于在20°C至300°C的温度范围内进行晶圆上高功率器件测量,测量能力高达3 kV(三轴)/ 10 kV(同轴)和600A(脉冲)。


MPI-AST-V20-001 TS2000 Series Fact Sheet

MPI-AST-V20-001 TS2000 Series Data Sheet


产品特点与优势


探针卡和MicroPositioners

TS2000-DP提供高达12倍的高电压(高达3 kV三轴或10 kV同轴)或4倍多指高电流(高达400 A MicroPositioners)。

许多单探针,专用探针卡夹,用于防电弧高功率探针卡,使系统成为高功率器件特性测量的理想选择。

TS2000-DP_Probe Cards & MicroPositioners.jpg(shaded)

反弧技术

该系统配有ArcShield™,以防止卡盘和探头台板之间发生任何可能的电弧。

防电弧探针卡具有在DUT周围施加高压的能力,并且通过使用帕邢定律来防止焊盘之间的电弧放电。

特别设计的防电弧LiquidTray™只需将其放置在高功率吸盘表面即可用于抑制电弧。晶圆可以安全地放置在托盘内,浸入液体中进行无电弧放电高压测试。

MPI卡盘在300°C时最高可达10千伏(同轴)。

TS2000-DP_Anti-Arcing Technologies(shaded)

仪器一体化

TS2000-DP可配置多种仪器连接包,包括必要的高压/高电流探头和电缆附件,以便与Keysight B15005(3 kV或10 kV)等测试仪器进行最佳连接,包括集成模块选择器或吉时利2600-PCT-XB,包括集成8020高功率接口面板。

软件套件SENTIO ®


MPI自动化工程探测系统由一个独特的,革命性的多点触控操作来控制SENTIO ®软件套件 -简单而直观的操作,节省了显著的训练时间,滚动,缩放,移动命令模仿现代智能移动设备,并允许每个人都成为一个专家只需几分钟 活动应用程序和其他应用程序之间的切换只是简单的手指扫描问题。

对于RF应用,没有必要切换到另一个软件平台- MPI射频校准软件程序QAlibria ®与SENTIO完全集成®按照单一经营理念的方法,易于使用- 。








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