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MPI TS300-SE 探针台系统

2019-03-28 admin



TS300-SE-Manual-Probe-Systems (1).png

MPI手动TS300-SE探针台系统


简单,直观,方便  ,可确保  高度精确的测量。


空气阶段


MPI独特的  空气轴承平台  设计,简单的单手圆盘控制,提供无与伦比的操作便利性,可实现快速XY导航和快速晶圆装载,同时不会影响精确和精确的定位能力,并具有额外精细和精确的25x25mm XY-Theta千分尺机芯。

带探头悬停控制™的独特压板提升装置Unique Platen Lift with
Probe Hover Control™


测量精度首先取决于接触质量! 高度可重复(1μm)的压板提升设计具有三个离散位置,用于接触,分离(300μm)和加载(3mm),带有安全锁实用程序,这些都是MPI手动探头系统中无与伦比的功能的例子。这些功能可防止意外的探头或晶圆损坏,同时提供直观的控制和精确的接触定 这种能力在高频和高功率应用中尤为重要,以便获得最准确的测量结果。

对于TS200和TS300,额外的Probe Hover Control™具有悬停高度(50,100或150μm),可轻松方便地探测垫对齐。

TS300-SE Probe System Platen shaded

高度调整量表 

Height Adjustment Scale



探针头压板具有25 mm的精细高度调节,以支持各种应用。独特的1mm精确刻度可直接反馈当前位置。

紧凑和刚性压板设计 

Compact and Rigid Platen Design



紧凑而坚固的压板设计可容纳多达十个DC或四个RF  MicroPositioner,可  满足各种应用要求。

各种夹具选项 

Various Chuck Options



手动系统提供各种卡盘选项,以满足不同的预算和应用要求。卡盘选择包括MPI的同轴或三轴夹头  或各种ERS  热卡盘 小号 支持温度测量高达300℃ -如实施例用于快速和方便的访问和操作的热触摸控制器的无缝集成。

辅助卡盘 

Auxiliary Chucks



RF卡盘包括两个内置陶瓷材料的辅助卡盘,用于精确的RF校准。

各种光学和运动选择 

Various Optic and Movement Choices



各种光学器件可供选择,适用于所有常见的DC / CV应用,也可选择单管高倍率显微镜,用于RF或负载牵引配置。

光学倾斜 

Optic Tilting



作为标准特征或甚至是气动驱动的90度倾斜,线性Z升降机提供非常方便的设置和易于更换的探头尖端。

隔振平台


所有手动系统均包含振动吸收底座,可实现稳定可靠的长期探头与焊盘接触,确保可靠的测量结果。在实验室环境需要大量振动保护的情况下,可选配隔振平台或工作台。


黑盒子


可用的Dark Box选项提供EMI屏蔽和不透光测试环境,可用于超低噪声DC测量。



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