• 降低硅光子学的测试成本

    蚀刻刻面激光器 如图1所示,EFT(蚀刻刻面技术)允许通过高精度光刻来定义刻面,而不是进行不精确的,碰到或错过的机械切割。光刻使腔的尺寸和刻面的位置已知在0.1µm以内。结果

    2019-11-15 admin

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