半导体探针台的基础认识

2020-11-30 admin

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半导体探针站是一种完善的工具,用于测试硅晶片,裸片和开放式微芯片上的电路和器件。关于探针台的两个最常见的问题是:

#探针台#的作用是什么?

探针台允许用户将电探针,光学#探针#或#RF探针#放置在硅晶片上,从而可以测试设备。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以很复杂,包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。


在晶圆级进行的测试允许制造商在生产过程中多次测试设备,从而可以洞悉哪些工艺步骤将缺陷引入了最终产品中。它还使制造商能够在封装之前测试管芯,这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。


最后,探针台通常用于研发,产品开发和故障分析应用程序,工程师需要灵活,精确的工具来对设备的不同区域进行测试。


探针台如何工作?
探针台可提供用于固定晶圆或晶片的设备,并使用“阶段”精确定位设备。机械手放置在称为“压板”的平面上。用户将探针臂和探针尖端安装到操纵器中,并使用安装在压板上方的显微镜将探针探针放置在设备上的正确位置上。将所有探针尖都设置在正确的位置后,即可对设备进行测试。对于具有多个管芯的晶片,用户可以抬起压板,这将使探针尖端与管芯分离,然后将载物台移至下一个管芯,使用显微镜查找精确的位置。由于模具是相同的,因此一旦平台处于适当位置,所有的探针尖端都将正确放置,并且压板可以放下,并且可以测试下一个模具。

这是通过手动系统手动完成的。半自动和全自动系统使用电动工作台和机器视觉来自动化该模具到模具的移动过程,从而提高了探针台的生产率并减少了进行多次测试所需的人工。



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